電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技産業,或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展,對電子特氣的純度提出了越來越高的要求,電子特氣的的淨化愈加關鍵和重要。國内的超高純度淨化技術主要依賴進口,自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。國内知名項目将設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米淨化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列,50多種電子特氣進行末端淨化,使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級,并将特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,從而極大地改善工藝能力,降低産品缺陷, 提高制程的産量,滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。重山光電将形成有自主知識産權的超高純度電子特氣淨化技術,解決超高純度電子特氣淨化這一核心技術的國産化問題。
從全球市場上來看,美國空氣化工集團、法國液化空氣集團、日本大陽日酸株式會社、美國普萊克斯集團、德國林德集團前5大企業占據了90%以上的市場份額。而在中國市場,5大巨頭同樣占據近90%市場份額,壟斷格局明顯。
重山光電材料股份有限公司目前量産四氟化鍺、二氟化氙、三氟化氯、三氟碘甲烷、三氟化氮、四氟化鍺、四氟化钛、四氟化矽、六氟化鎢、六氟化钼、全氟丁二烯等含氟高純電子特氣。