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乙硼11烷,又稱六氫化二硼、硼乙烷,分子式為B2H6,相對分子量為27.67。乙硼烷在正常條件下(15℃,101.325kPa)是一種無色、易燃、易分解、具有令人惡心的煙火氣味和微甜味道的高毒氣體。乙硼烷是一種非常活潑的化合物,常溫下就不很穩定,會緩慢地分解生成各種不同含量的硼氫化合物,同時會放出氫氣。乙硼烷遇水立即水解,最終得到硼酸和大量的氫氣。乙硼11烷在電子工業中作為氣态雜質源、離子注入和硼摻雜氧化擴散的摻雜劑使用。
産品用途
乙硼11烷可在微電子、平闆顯示、太陽能電池、LED、光纖、醫藥、核電等領域應用,也可用作聚合催化劑、火箭和導彈的高能燃料。乙硼11烷在半導體制造中用作矽材料的p型摻雜源,用于半導體生産,矽和鍺的外延生長、鈍化、擴散和離子注入。
包裝、貯存
乙硼11烷存放于不鏽鋼鋼瓶中,在室溫條件下,鋼瓶内純乙硼11烷每月要分解10%~20%,在低溫下乙硼11烷可以貯存幾個月且分解速度低得多,但乙硼11烷儲存溫度不應低于-80℃。儲存區應遠離明火、火花、熱源,并應備有洩漏應急處理設備。