編者按：由中國工業氣體工業協會和中國電子氣體生産與利用百人會主辦的第四屆中國電子氣體發展高峰論壇暨2024中國電子氣體百人會年度論壇在京召開。我公司副董事長、首席科學家方治文應邀出席會議，并做題為“我國含氟電子特氣發展現狀及挑戰”的大會報告。

中化新網訊3月7日，由中國工業氣體工業協會和中國電子氣體生産與利用百人會主辦的第四屆中國電子氣體發展高峰論壇暨2024中國電子氣體百人會年度論壇在京召開。中國工業氣體工業協會理事長馬銀川指出，目前我國電子氣體産業産品大都是中低端，不少存在産能過剩甚至嚴重過剩，高端産品、尖端技術嚴重短缺，行業須瞄準高端化、差異化領域，提升産品的精細化、專用化、系列化水平。

圖為圓桌沙龍

“2023年，在多重挑戰疊加的情況下，我國電子氣體行業呈波浪式發展。2024年，世界經濟增長動力不足，地區熱點頻發，外部環境複雜，不确定性上升，對行業高質量發展将帶來不利影響。”中國工業氣體工業協會副理事長洑春幹表示，行業要抓住機遇，加大創新力度，培育壯大新興産業，超前布局建設未來産業。要用新技術改革，改造提升傳統産業，積極推進産業高質量、高端化、智能化和綠色發展。

“近年來，電子氣體技術更新疊代較快，特别是集成電路領域，制程節點不斷縮小，晶圓尺寸日漸擴大。在此背景下，市場對電子氣體品種以及産品精度、純度都提出更高要求。”馬銀川指出，電子氣體行業要重點圍繞“市場有需求、研發有基礎、突破有可能”的重大關鍵技術，集中力量開展協同攻關，為行業高質量發展提供強大支撐。

圖為大會現場

北方集成電路技術創新中心(北京)有限公司總經理康勁博士表示，電子氣體是集成電路制造的重要材料之一。在國内需求不斷升級、國外封鎖加劇大背景下，我國集成電路全産業鍊國産化發展刻不容緩。我國半導體材料行業企業小而散，同質化競争問題日趨嚴重，因此企業要強化技術創新，走差異化發展道路。同時還要加強高等院校與行業之間的合作，建設技術創新平台，培養本土人才團隊。此外還要完善産業鍊供應鍊，加強對國産原材料的技術開發和應用。

中國電子氣體百人會會長、中船(邯鄲)派瑞特氣股份有限公司副董事長李紹波認為，與國際同行相比，我國電子特氣産業成長空間較大，整體規模較小，國際影響力有待提升，要在研發投入、同質化、配套設施、人才培養等方面補齊短闆，全方位提升行業高質量發展水平。

此外，中國電子氣體百人會副會長孫福楠、陝西有色天宏瑞科矽材料公司副總經理趙渭濱、中船特氣副總經理王占衛等分别介紹了含氟氣體、矽烷、三氟化氮、氦氣等氣體技術發展現狀。來自電子氣體行業的領導、專家、學者等200餘人參會。

來源：中國化工報