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公司受邀參加2024中國新材料技術與半導體應用大會(S-MAT)暨半導體材料高端論壇

更新時間:2024-03-29 點擊數:829

2024年1月14-16日,公司受邀參加了在上海召開的2024中國新材料技術與半導體應用大會暨半導體材料高端論壇。上百名來自政府部門、科研界、産業界的專業人士彙聚一堂,共謀中國半導體材料創新發展之路。

公司副董事長、總工程師方治文教授應邀在本次大會的電子工藝化學品與電子氣體分會場,就“半導體制程用高豐度硼同位素分離富集技術研究及國産化替代進展”進行了主題演講,并向在場聽衆介紹了公司在硼同位素及其它含氟高純電子材料方面的研發工作進展及取得的成果。

方治文教授做報告

公司2012年開始與天津大學合作,啟動硼同位素分離富集技術研究,十年内持續投入研發中試經費上億元,于2020年全面突破關鍵技術瓶頸,成功生産出硼11豐度>99.9%的三氟化硼11及硼10豐度>99%的三氟化硼10,并已成功量産。目前已批量給國内大型面闆企業、芯片企業、醫藥企業等供貨,率先實現了高豐度硼同位素材料在半導體等領域的國産化替代。該項目于2022年4月通過中國石化聯合會組織的科技成果鑒定,技術水平達到國際先進,擁有完全自主知識産權。

深圳大學微電子研究院院長、半導體制造研究院院長王序進院士(中),上海市新材料協會秘書長何扣寶(左)等參觀展台

公司在本次大會上獲頒“突出貢獻獎”獎牌與證書





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