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半導體制程(支撐)材料

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五氟化磷

更新時間:2020-12-06 點擊數:167

五氟化磷(化學式:PF5),是磷鹵化合物,磷原子的氧化數為+5,包含有一個三中心四電子鍵。五氟化磷在常溫常壓下為無色惡臭氣體,其對皮膚、眼睛、粘膜有強烈刺激性。是活性極大的化合物,在潮濕空氣中會劇烈水解産生有毒和腐蝕性的氟化氫白色煙霧。五氟化磷常被用作聚合反應的催化劑。


産品指标:

産品用途

PF5 在有機合成中常用作氟化劑。 它可以将氟原子引入有機化合物中,從而顯着改變他們的屬性。 PF5 特别适用于藥物、農用化學品和化學品的合成特種化學品.

PF5 用于生産半導體和集成電路。 它被用作摻雜劑,一種物質添加到半導體 修改其電氣特性。


包裝、貯存:

五氟化磷充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分别為10 L、50L、100L等。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。

儲存于陰涼、通風的有毒氣體專用庫房。庫溫不宜超過30℃。遠離火種、熱源。應與堿類等分開存放,切忌混儲。儲區應備有洩漏應急處理設備。


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