你好,歡迎訪問云顶集团游戏app官網!

云顶集团游戏app

全國咨詢電話:

0533-5680963

聯系我們

銷售中心電話:0533-5680963

手機:13508950618

郵箱:zshcchem@126.com

公司地址:山東省淄博市淄川區羅村鎮中心路(重山光電園區)

半導體制程(支撐)材料

所在位置:首頁  > 産品展示半導體制程(支撐)材料

全氟丁二烯 CAS:685-63-2

更新時間:2020-07-04 點擊數:2771

全氟丁二烯(C4F6)是一種無色無味且不溶于水的氣體。全氟丁二烯熔點為-132.0℃,沸點為5.9℃。全氟丁二烯屬于第三代蝕刻氣體,它與傳統含氟蝕刻氣體相比,具有優越的蝕刻性能和環境性能。

全氟丁二烯由于其獨特的F/C比,與傳統使用的全氟飽和氟碳類蝕刻氣體相比,具有更高的蝕刻選擇性、精确性和縱橫比,可以蝕刻小于100nm甚至更窄的電子線路。此外,C4F6比c-C4F8具有更高的對光阻和氮化矽選擇比,在使用時可以提高蝕刻的穩定性,提高蝕刻速率和均勻度,從而提高産品優良率。


産品指标


此外,由于全氟丁二烯的環境性能優良,用它取代在氧化膜蝕刻工藝中常用的C3F8和c-C4F8蝕刻氣,在排氣中可分别降低溫室氣體全氟化合物(PFCs)體積分數80%和82%。

産品用途

應用于半導體芯片的幹法刻蝕氣

包裝

鋁白色鋼瓶,鋼瓶型号DOT-3AA,瓶閥型号CGA350,産品規格分為10kg/瓶、20kg/瓶和40kg/瓶三種,包裝規格可根據客戶需求定制。

貯存

貯存于陰冷通風幹燥處,遠離火種、熱源。



云顶集团游戏app

備案号:魯ICP備17016486号-5

電話:0533-5680963

手機:13508950618

版权所有:云顶集团游戏app-云顶赌博官方网站

公司地址:山東省淄博市淄川區羅村鎮重山光電園區

掃一掃

關注重光光電

微信号

Baidu
sogou