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半導體制程(支撐)材料

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碳酰氟 CAS#: 353-50-4

更新時間:2020-07-04 點擊數:2731

碳酰氟 CAS#: 353-50-4

碳酰氟(CF2O),又名氟光氣、氟化羰、羰基氟、氟氧化碳、氧氟化碳等,分子量為66.01,熔點為-114℃,沸點為-84℃。碳酰氟是一種高毒刺激性氣體,對皮膚及呼吸道粘膜具有強烈的刺激作用,能溶于水和乙醇,在水中分解放出劇毒的腐蝕性氣體,具有強烈的腐蝕性。作為新一代電子工業中的刻蝕氣體和清洗氣體,其溫室效應極低,具有極低的全球變暖潛能值和極低的大氣壽命(< 1年),綠色環保。

産品指标:

産品用途:

碳酰氟在電子工業中用作清洗氣和刻蝕氣,其溫室效應極低,綠色環保。碳酰氟也可作為有機合成、無機合成中的重要的氟化劑、氟原料。碳酰氟還是有機合成中的重要中間體,用于生産氟塑料或其他下遊産品。碳酰氟還可以純化和幹燥化合物(尤其是含氟化合物)。    

包裝、貯存:

碳酰氟充裝在鋼質無縫鋼瓶中,鋼瓶容積為10 L、40 L,具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。産品儲存于陰涼、幹燥、通風良好的庫房,遠離火種、熱源。防止受潮、雨淋、陽光直射。



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