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四氟化碳 CAS#: 75-73-0
四氟化碳(CF4),又稱四氟甲烷,相對分子量為88,熔點為-183.6℃,沸點為-127.8℃,是一種無色無味的不可燃氣體。常溫下,四氟化碳屬于易壓縮性氣體,揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,不易溶于水。四氟化碳與可燃性氣體燃燒時,會分解産生有毒氟化物。四氟化碳在微電子工業等領域具有重要的應用,作為蝕刻二氧化矽和氮化矽的介質材料已成熟運用多年,也是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體。
産品指标
産品用途:
四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,與高純氮氣的混合體可廣泛應用于矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。此外,四氟化碳在低溫下可作為低溫流體應用,在制冷、氣體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體洩漏檢驗劑領域中有一定的應用空間。
包裝、貯存:
四氟化碳充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分别為8 L、44 L、47 L,具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化碳儲存于陰涼、通風的不燃氣體專用庫房中,遠離火種、熱源,庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲。存應備有洩漏應急處理設備。