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四氟化钛 CAS#: 7783-63-3
四氟化钛,又稱氟化钛,分子式為TiF4,分子量為123.86,熔點為284℃,是一種具有吸濕性的白色粉末。四氟化钛溶于冷水中可分解,溶于硫酸、乙醇和吡啶,不溶于乙醚。四氟化钛在微電子工業、石化等行業中具有重要的應用。
産品指标
産品用途:
在電子工業中,四氟化钛可用于成膜材料或離子注入摻雜,形成矽化钛或钛膜,制作低電阻、高熔點的電路互聯線和栅極。四氟化钛在石化行業中可用作催化劑。
包裝、貯存:
四氟化钛儲存于密封的銅質容器中,包裝規格為10g、100g,具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化钛儲存于陰涼、通風的庫房,庫溫不宜超過37℃,保持容器密封,遠離火種、熱源。儲區應備有洩漏應急處理設備和合适的收容材料。