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半導體制程(支撐)材料

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六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

更新時間:2020-07-04 點擊數:1924

六氟化硫 CAS#: 2551-62-4

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,分子量為146.07,熔點為-51℃,沸點為-64℃。六氟化硫分子結構呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩定性很高。電子級高純六氟化硫是一種理想的蝕刻劑,可用六氟化硫蝕刻矽表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為摻雜劑使用。

産品指标

産品用途:

電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應用于微電子技術領域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中六氟化硫用作生産摻氟玻璃的氟源。此外,六氟化硫還可作為絕緣氣體、示蹤劑、冷凍劑使用。        

包裝、貯存:

六氟化硫充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶一般容積為40L。具體包裝規格可根據用戶要求定制更改。六氟化硫儲存于陰涼、通風的庫房,遠離火種、熱源,庫溫不宜超過30℃,應與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲,儲區應備有洩漏應急處理設備。



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