高純四氟化矽 CAS#: 7783-61-1

四氟化矽（SiF4），又稱氟化矽，分子式為SiF4，分子量為104.06，是一種無色、有毒、有刺激性臭味的氣體。四氟化矽易潮解，在潮濕空氣中可産生濃煙霧。四氟化矽溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸，吸濕性非常強，加壓下變成液體，在電子行業中，四氟化矽有着廣泛的應用。

産品指标

産品用途：

四氟化矽在電子行業中主要用作氮化矽、矽化钽等的P型摻雜劑、蝕刻劑及外延沉積擴散矽源等，還可用于制備電子級矽烷或矽。此外，四氟化矽可用于制備太陽能電池、氟矽酸和氟化矽、水泥和人造大理石的硬化劑。    

包裝、貯存：

四氟化矽充裝在鋼質無縫氣瓶中，鋼瓶容積分别為8 L、44 L、47 L。具體包裝規格可根據用戶需求定制更改。四氟化矽儲存于陰涼、幹燥、通風良好的庫房中，遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃，儲區應備有洩漏應急處理設備。