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五氟化钽(TaF5),相對分子量為276,熔點為96.8℃,沸點為229.5℃,是一種白色結晶,折光能力強。五氟化钽微溶于熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚、氫氟酸、硝酸、發煙硝酸,在空氣中吸濕而不水解。高純五氟化钽在微電子工業中用作化學氣相澱積矽化钽或钽膜,制作低電阻、高熔點的電路互連線和栅極。五氟化钽在電子元器件表面、半導體器件表面、钛及金屬氮化物電極表面、金屬鎢表面上,可形成附着力極強、厚度為0.1μm級的絕緣薄膜,具有高的介電率。
産品指标
産品用途:
五氟化钽在電子工業中用作化學氣相澱積矽化钽或钽膜,制作低電阻、高熔點的電路互連線和栅極。
包裝方式:
一般采用四氟瓶包裝。