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半導體制程(支撐)材料

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高純氟氣

更新時間:2020-07-04 點擊數:2097

氟氣(F2),相對分子量為38.00,沸點為-188℃,溶于水,是一種具有刺激性氣味的強氧化性淺黃色有毒氣體。氟氣化學性質異常活潑,幾乎能與所有的元素發生反應,被譽為自然界中最活潑的物質。氟氣可以賦予含氟材料和含氟化學品許多優異的性能,在信息、電子和化工領域應用廣泛。高純氟氣作為化學氣相沉積反應腔室的清洗劑,具有很強的反應活性且不會造成溫室效應,在半導體領域極具市場潛力。

産品指标


産品用途:

氟氣因其特殊的性質,可用作化學氣相沉積反應腔室的清洗劑,也可作為氟化試劑用于無機含氟材料、有機含氟材料、半導體材料制造領域。氟氣被廣泛應用于電子、激光技術、醫藥、塑料、石油化工、航空航天等領域,是化工領域的重要原料。   

包裝、貯存:

高純氟氣壓縮充入鋼瓶中,在包裝貯存氟氣之前要對其儲運鋼瓶内壁進行有效的鈍化處理。具體包裝規格可根據用戶要求定制。高純氟氣存儲于陰涼、通風倉庫内,倉庫溫度不應超過30℃,遠離火種熱源,與易燃或可燃物、金屬粉末等分開存放,并防止陽光直射




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