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氟化氫(HF),又名氫氟酸,分子量為20.01,為無色透明液體。在空氣中發煙,有刺激性氣味,能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發生反應,生成各種鹽類。氟化氫腐蝕性極強,能侵蝕玻璃和矽酸鹽而生成氣态的四氟化矽。氟化氫在電子工業等領域有着廣泛且重要的應用。電子級氟化氫主要作為清洗劑和蝕刻劑,廣泛應用于光伏産業、集成電路和玻璃減薄等行業,是關鍵輔助材料之一。它的純度和潔淨度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有着十分重要的影響。
産品指标
産品用途:
在集成電路和超大規模電路制造中,氟化氫用于晶圓表面清洗、芯片加工過程的清洗和腐蝕等。在玻璃減薄行業中,氟化氫用于液晶顯示器玻璃基闆的清洗、氮化矽及二氧化矽蝕刻等。超淨高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化铵、氟化铵等配置使用,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學品。
包裝、貯存:
電子級氟化氫充裝在鋼質無縫氣瓶中,鋼瓶容積分别為44L、47L和440L等。具體包裝規格可根據用戶要求定制更改。鋼瓶襯裡材料為為高密度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚四氟乙烯(PTFE)等。氟化氫儲存于陰涼、通風的庫房中,遠離火種、熱源,庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、食用化學品分開存放,切忌混儲。儲區應備有洩漏應急處理設備。